卡套直通過濾器_不銹鋼氣體過濾器_精密高效工藝氣體過濾器
TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導體領域設計、精準清除UHP超純氣流微粒、保障生產純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結構緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。
產品特點
? 整體316L不銹鋼結構
? 高通量、低阻力
? 超高顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環境內制造、測試、包裝100%完整性測試
? 100%氨氣檢漏測試
F型直通式過濾器
1、結構緊湊，節省空間
2、工作壓力可達: 207bar(3000psig)
3、工作溫度:-28~ +482℃
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 | ||
| 氦氣驗證泄漏率 | 2×10-10/min | 氦氣測試泄露率 | 1×10-10/min | ||
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
| 內表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體，反應氣體 | 50°C | ||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≧0.03particles/liter @>0.01um，30slpm |
||
| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | ||||
過濾面積
| 過濾器類型 | 過濾面積規格 | 過濾面積mm2 | |
| 燒結式 | 濾網式 | ||
| F型直通式 | 2 | 350 | / |
| 4 | 830 | 640 | |
| 8 | 1280 | 1090 | |
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