高流量超純氣體擴散器過濾器_半導體氣體過濾器_工藝潔凈過濾器
DF系列擴散器專用過濾器、專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計? ?穩壓、穩流、規避湍流
結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。
獨特的全316L不銹鋼結構、不僅確保高效過濾、更巧妙的規避了湍流產生、對工藝室環境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。
可定制化設計、靈活適應各類安裝空間。
產品特點
不銹鋼粉末燒結介質、可快速排氣
整體316L不銹鋼結構
減少工藝腔體排氣時的湍流
適用于多種工藝氣體
潔凈室環境內制造、測試、包裝
100%完整性測試通過
100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
防止微粒混入、幫助提高產品合格率可根據安裝空間進行設計
技術參數
| 濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 |
| 表面處理 | 內表面:Ras32um | 過濾精度um | ≥003um? |
| 最大進氣壓力 | 4bar | 最大工作壓差 | 5bar |
| 最高使用溫度 | 400°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01ym rated flow |
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